נובה (ת”א: נובה; נאסד”ק: NVMI), ספקית מובילה של פתרונות מטרולוגיה המשמשים למדידות בבקרת תהליכי ייצור בתעשיית המוליכים למחצה, מודיעה על חשיפת מערכת מדידה אופטית (מטרולוגיה) משולבת פורצת דרך המציבה רף חדש של יכולות ותשמש יצרני שבבים בפיתוח הדורות המתקדמים ביותר של מעבדים וזיכרונות תלת ממדיים.
המערכת החדשה – נובה אסטרה (Nova ASTERA) מיישמת טכנולוגיית מדידה אופטית מרובת ערוצים המאפשרת להגיע לתוצאות ברמת דיוק שהתאפשרה עד כה במערכות מדידה מטרולוגיות עצמאיות.
הפתרון החדש מיועד לתמוך בפיתוח טכנולוגיות הדור הבא לייצור שבבי מעבדים בגדלים של 3 ננומטר ומטה וכן שבבי זיכרונות (3D-NAND) בטכנולוגיית של 256 שכבות ומעלה ותאפשר בקרת תהליך מתקדמת, מדידה של ממדים קריטיים ועובי שכבות דקות.
בנוסף, נובה הודיעה היום על השקת i570 HP – הדור החדש של מערכות המדידה המשולבות של נובה, הפלטפורמה המהירה ביותר בתעשייה כיום, המכוונת להשתלבות בתהליכי ייצור המוני של יצרני השבבים המתקדמים ביותר.
בתמונה: המערכת החדשה
